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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

苏州某半导体技术基带芯片生产制造制造商,晶圆生产制造工作中行成含硅、氟的特定工业废水操作工艺,设定操作整体规模1200吨/日。工业废水操作工艺组分较为复杂,含微米级硅颗粒肥料及盐酸,经典操作策略不可合格。 废液部分及源于 最主要的污染源物 :橡胶胶体部分硅(100-500nm颗粒直径)、氟亚铁离子(200-300mg/L)、异丙醇 主要来源制作工序 :晶圆刻蚀化工废水处理方法(45%)、CMP化学工业机械装备打磨抛光化工废水处理方法(40%)、机械设备冲刷水(15%) 治疗方法流程图 创新性采用了"耐腐蚀沉淀物中+特殊膜拆分"高技术自驾路线: 钙盐滤渣 :污泥脱水氯化钙清理氟亚铁离子(转化CaF2积累) 斜管沉淀池化学反应 :pp二沉池剂达到电解质溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗粒肥料 反构建控制系统 :脱盐率>98%,收售率75% 减压蒸馏晶体 :浓水段做到氟化物零摆放 然后功能 氟化物密度:<8mg/L(不超我国七级准则10mg/L) 硅含量的:<5mg/L 污水从而的工业废水处理率:70%适用于放置冷却水塔补充水分 危废处理减药:减压蒸馏残余物量较傳統工艺设计减轻60%

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