苏州某半导体技术基带芯片生产制造制造商,晶圆生产制造工作中行成含硅、氟的特定工业废水操作工艺,设定操作整体规模1200吨/日。工业废水操作工艺组分较为复杂,含微米级硅颗粒肥料及盐酸,经典操作策略不可合格。
废液部分及源于
最主要的污染源物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm颗粒直径)、氟亚铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
主要来源制作工序
:晶圆刻蚀化工废水处理方法(45%)、CMP化学工业机械装备打磨抛光化工废水处理方法(40%)、机械设备冲刷水(15%)
治疗方法流程图
创新性采用了"耐腐蚀沉淀物中+特殊膜拆分"高技术自驾路线:
钙盐滤渣
:污泥脱水氯化钙清理氟亚铁离子(转化CaF2积累)
斜管沉淀池化学反应
:pp二沉池剂达到电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗粒肥料
反构建控制系统
:脱盐率>98%,收售率75%
减压蒸馏晶体
:浓水段做到氟化物零摆放
然后功能
氟化物密度:<8mg/L(不超我国七级准则10mg/L)
硅含量的:<5mg/L
污水从而的工业废水处理率:70%适用于放置冷却水塔补充水分
危废处理减药:减压蒸馏残余物量较傳統工艺设计减轻60%