该厂为8英尺晶圆生产销售线配套设施的超软水系统化，天天生成含硅焦化废水150吨。焦化废一般的水都虽无巨资属，但硅的含量高易积灰，且电阻器率需实现18MΩ·cm就可以工业企业废水处里。原先的处里方法无发要求新公布的《电子设备工业企业水的空气污染物污染物标》（GB39731-2020）特点污染物标准值。 污废水 部分的特点 包括环境固体废弃物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、顆粒硅（孔径0.1-1μm） 唯一性规范 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水质量性 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅氧化物体型繁杂 净化处理技术程序流程 信息化主要包括"梯级膜转移+电去铝离子"团体工艺设备： 微滤预治疗 ：1μm工业陶瓷膜过滤大颗粒剂硅，通量提升80LMH 阴阳离子互换聚酯树脂 ：D201大孔树酯会抑制性过滤硅酸碳原子 二次元RO系统性 ：独一段回报率60%，第一段采用了高脱硼膜零件 EDI电去阳离子 ：瞬时电流规格2A/m²，持续性避开多余阴离子 太阳光的紫外线消毒 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 枝术特色 规划设计专用的阻硅剂（有机肥料胺类塑料物），延长时间膜环保问题时期3倍 EDI功能模块革新流道的设计，硅快速清理率增强至99.8% 高清在线硅解析仪（估测范围图0.1-500μg/L）推动正确把控 执行工作成效 经再者方验测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼水平从8μg/L高于0.3μg/L 设计利用率从原40%增强至68% 膜更新频次拉长至5年，年作业成本低较低35%