该典例基华北城市某家大形半导体行业制造厂厂家,常见种植集成式电路系统心片。在种植进程中,晶圆清洁、蚀刻等道工序需便用非常多的电子厂级磷酸(含量≥85%),呈现呈现高渗透压含磷废液。厂家原本补救油烟净化器尚未符合逐步严要求的污染物标准单位(TP≤0.5mg/L),急缺加剧处理。
废渣部分及由来
废渣首要源头于几个节点:晶圆擦洗废渣(占总排水量60%)、生产设备擦洗废渣(30%)包括地面上擦洗废渣(10%)。水源特点行为 为:pH值1.5-2.5,总磷氧化还原电位800-1200mg/L,氟阴阳离子含铁50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含带少量天价属(铜、锌等)。
治疗施工工艺过程
工程用于"采样+化学上沉淀自己+高等脱色+角度滤水"的搭配加工:
调理池
:平均水的硬度蓄水量,开设pH线下监测数据控制系统
两级影响池
:污泥脱水生石灰乳转换pH至8.5-9.0,建立Ca3(PO4)2水解
五级反映池
:加PAC和PAM精炼水解酸化池结果
斜板沉淀物池
:构建固液脱离,生活污水进到脱水怎么办操作系统
Fenton防氧化标段
:H2O2与Fe²⁺一体化影响溶解充分物
多物料脱水器
:石英石砂+活性氧炭结构吸附,为了保证有水出澄澈
亚铁离子交流系统软件
:进一大步的还原残渣复合阳离子
结果是郊果
系統自动进行稳定的后,有水出环境质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,一项规格远低于《电子元器件加工水环保问题物排污规格》(GB 39731-2020)。常年可以减少磷排污约15吨,污泥干化存在量较过去加工较低40%,自动进行费用操纵在8.3元/吨水。