该晶圆手工产量厂处于苏北各地,注意产量89英寸半导体设备晶圆,单日产生废水摆放量下跌约800吨。仍然产量时候中使用的大量的氢氧化钠实行晶圆蚀刻,造成产生废水里面氟化物渗透压可高达200-300mg/L,远超政府摆放规定(10mg/L以下的)。
污水物质及来原
焦化废水包括来八个原则:
晶圆蚀刻生产工序
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸银及小量巨资属
检查是否厂家打磨抛光(CMP)焦化废水
:含微米级硅科粒、巧妙络合剂
设配洗掉工业废水
:含异丙醇、挥发酚等有机的物
操作具体流程具体流程
主要采用"化学式放置物+沥青混凝土放置物+深层净化"三级职业资格证书除理系統:
四级除理
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,组成氟化钙沉淀出的,氟化物快速清理率达85%
二次外理
:生成PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),除去橡胶胶体部分态被污染的物
三級治理
:确认多物质吸出器和吸出性炭吸出,喷水氟化物溶度安全稳定在8mg/L下列
关键性专用设备收录:pH自动化调整系统软件、斜管沉定池、板框飞灰压滤机(飞灰脱水现象)。
终极目的
项目流程开机运行3年数剧监测数剧显视:
氟化物平均水平酸度:7.2mg/L(远低于我国标准规定)
COD清除率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年收回氟化钙副食品约150吨,达成资源共享化用