业务历史背景
本项目靠近华东东南部东南部一家人有名气光电器件开发的企业,主耍生产的844英寸和1244英寸晶圆。逐渐生产能力加强,机磨工艺呈现的废需水量从一开始的200吨/日曾加到350吨/日,本身清理安全设施已始终无法 能够满足需要量,且溢水水的质量不平稳,急待改装和改装废水加工处理清理系统化。
工业废水组成成分及来源地
该的企业考虑废污水通常来源以下的工艺流程:
检查是否物理粉磨(CMP)污废水 :包含有二空气阳极氧化硅、空气阳极氧化铝粉等粉磨粒子,比表面积在0.1-1μm区间
晶圆后壳研磨机污废水 :含带硅粉、黑色金属铁离子(铜、铝等)及一点有机化学增添剂
切开碾磨化工废水:一般因素为无定形碳硅粒子和切工油精华液
废水处理工艺的特点展现为:pH值下跌大(2-11)、悬浮物物密度高(500-2000mg/L)、有效轻微天价属和难溶解生产物,COD一般而言在200-500mg/L面积。
处理加工过程具体流程
进行一次小试和中试,结果英文敲定所采用下面办工院艺:
调池
:软件设置pH上线检测和重新投加药剂整体,将废渣pH稳定可靠在6.5-7.5时间范围
混泥土滤渣
:污泥脱水整合氯化铝(PAC)和阴铝离子型高分子聚乙烯酰胺(PAM),混发应后进入斜板积淀池
溶气气浮
:运用地方回到式溶气气浮,进这一步除去狗瘟粒状和电解质溶液有机化合物
多媒介油烟净化器
:适用石英晶体砂+灵活性炭滤出器二级滤出,确保安全冒水SS<10mg/L
膜治理整体
:是指反融于装置(UF)和反融于(RO)两极,RO浓水专门进行处理
污泥干化进行处理
:沉垫主气浮工业废水经板框压滤后运输处治
根本施工工艺参数表:混疑过程G值管控在60-80s⁻¹,反应迟钝时期15min;气浮循环比30%,留住时期20min;超滤膜通量60LMH,反渗入收集率75%。
进而功效
体系运动比较稳定后,出液生活饮用水压根超过《电子器材实业水破坏物排卸条件》(GB39731-2020)十分排卸允许值特殊要求,主要依据以下:
SS<5mg/L(祛除率>99%)
COD<30mg/L(清除率>93%)
铜亚铁离子<0.3mg/L
喷水使用率高达65%这些
污水减量化40% compared to原生产工艺
本项目总注资约1200万,运转代价约8.5元/吨水,年均可增多化工废水尾气排放标准量8亿吨,再利用水产品4亿吨,经济性竞争力和大环境竞争力显著性。