半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
投资项目时代背景
该财产园汇聚了十余家半导体材料相应的单位主主,结构设计日治理 作用5000吨,需要治理 是来自于有所不同单位主主的混合着的生产电镀废水。是因为各单位主主的生产技术技术的差异大,的生产电镀废水部分很复杂变化多端,治理 一定难度较高。
废液材质及的来源
化工废污水通常包扩四大类:高盐含量生产化工废污水(光刻胶、显影液液等)、含氟化工废污水(刻蚀道工艺流程)和耐酸碱化工废污水(的清洗道工艺流程)。特异的成分包扩异丙醇、四甲基氢腐蚀铵等难生物降解生产物,同时氟化物、化学需氧量等硅酸被废弃物。化工废污水COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物盐含量100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
工作方法流程步骤
通过"进行分类自身+分质清理+集约化角度清理"的创新技术格局:
各个企业的内部定义预加工治疗:含氟废污水多个持续并预加工治疗
物流园区热力管网的分类运输整体
综上设定池稳定土质
二级混疑积累除去悬浮物物和溶液
更高效生物体发生植物细胞培养(HBR)整理有机的水污染物质
臭氧杀菌催化剂的作用脱色转化难转化巧妙物
反渗系统的实行脱盐操作
红外光谱线消毒液确保的安全水流的安全
特备制定了百度监测器系统性和自动的加量系统性,面对环境质量波动性。
以后使用效果
软件操作3年来,加工郊果增强靠谱。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,高于河流Ⅳ类规范,环节操作于经济区园林景观及冷去塔补水保湿,操作率大于30%。年年降低新鲜松茸水操作约70万吨,为经济区企业公司节俭有水费千余多万元。