半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
投资项目图片背景
该客户为亚洲地域当先的半导体器件首测客户,靠近珠四角地域,主耍做好中低端存储芯片的划区和芯片封装试验。会因为位置绿色环保想要苛刻,客户决定了施工焦化废水污水治理 技术物建筑工作。工作于2030年发动,202五年6月建起投建,治理 大规模为200吨/日,总股权投资约2000上万元。
废渣部分及起源
此项目的意义划区污废水 含有之下优点:
高溶度氟化物,具体存在晶圆割切后的洁净工步,氟正离子溶度高达到150-200mg/L
包含奈米级硅粉粒状,粒度多在100-500nm彼此
巧妙负荷率较高,COD在500-800mg/L
具有进样器巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,通畅在2000-3000μS/cm
办理工艺设计方案
为改变临“0”排放口对方,加工来设计至关重要满足废水处理划分收录和资源量环保再生再生资源回收:
污水的分类征集软件
:将含氟污废水处理方法 与其余污废水处理方法 合在一起处理
催化积累除氟
:主要包括两极钙盐放置法,结合效率高放置池
高等级硫化加工处理
:O3促使腐蚀可降解难补救可挥发物
膜精提系统化
:用于DTRO碟管式反固化,精浓公倍数为10倍
蒸发器凝结
:MVR机械性收缩空气再收缩空调冷凝器器清理浓水
低温干燥系统性
:将晶粒盐干燥处理后当作工农业副新产品外售
解决成效
程序电脑运行大数据信息显示:
氟化物清掉率>99.9%,出水量氟亚铁离子<1mg/L
COD总清理率>98%,冒水COD<20mg/L
水能源环保再生资源回成品率>95%,仅呈现极富析出盐
第一年可收回高的品质使用水约5万吨
结晶体盐含量提高工业化的级规范标准,体现自然资源化再生回收利用
内容并不是控制了废渣零排出,还依据成本收旧制造了约80万块人民币/年的格外收获。