产品游戏背景
某中小型光电器件分娩加工单位设在长江三角洲型地区划分,其主要分娩晶圆和集成ic。在分娩期间中,晶圆激光切和磨光时候发生大规模碾磨液废水治理 ,平均减排量约50吨。伴随废水治理 中含有高氧浓度飘浮物、金属材质阳离子及设计填加剂,间接减排会对场景会造成较为严重的弄脏,单位急用修建专科治理 建筑设施。
废水处理有效成分及收入
研磨机液废水处理还包括还包括来出自晶圆工作中的催化物理磨光(CMP)流程,还包括弄脏物还包括:
悬浮物颗料物
:二氧化反应的硅、氧化反应的铝等粉磨粉末,粒级在0.1-1μm,盐浓度可以达到2000mg/L。
金属材料亚铁离子
:铜、铁、锌等,来源拋光垫磨花及晶圆单单从表面金属件层,铜铁离子含量约50mg/L。
可挥发移除剂
:其中包括界面亲水性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
碱酸性成分
:pH值冲击大,一般而言在2-11中间。
除理技艺具体流程
造成废污水优点,应用“预办理+什么是生化+深层次办理”团体工艺技术:
自动调节池
:稳定水的硬度排水量,生成强酸强碱自动调节pH至碱式盐。
混疑沉积
:加药PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),清掉悬屏物和悬浊液,沉降后SS清掉率>90%。
促使被氧化
:选择Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)分解巧妙增长剂,COD洗去率达60%。
生物体处里
:MBR膜生物工程作用器进几步可降解剩下无机物,COD减少为100mg/L以下的。
阴阳离子对调
:使用硅胶粘合剂吸附剂铜阴离子,出液铜分量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭吸附
:以保证水流澄澈,达到了《污废水基础性污染物规范》(GB8978-1996)考试内容一级规范。
终究治疗效果
系統运转稳定性高后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,剩于及格摆放,年以减少生活污水摆放1.10万吨。
治理直接费用约15元/吨,远不超过行业领域平均水平。