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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

产品游戏背景 某中小型光电器件分娩加工单位设在长江三角洲型地区划分,其主要分娩晶圆和集成ic。在分娩期间中,晶圆激光切和磨光时候发生大规模碾磨液废水治理 ,平均减排量约50吨。伴随废水治理 中含有高氧浓度飘浮物、金属材质阳离子及设计填加剂,间接减排会对场景会造成较为严重的弄脏,单位急用修建专科治理 建筑设施。 废水处理有效成分及收入 研磨机液废水处理还包括还包括来出自晶圆工作中的催化物理磨光(CMP)流程,还包括弄脏物还包括: 悬浮物颗料物 :二氧化反应的硅、氧化反应的铝等粉磨粉末,粒级在0.1-1μm,盐浓度可以达到2000mg/L。 金属材料亚铁离子 :铜、铁、锌等,来源拋光垫磨花及晶圆单单从表面金属件层,铜铁离子含量约50mg/L。 可挥发移除剂 :其中包括界面亲水性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 碱酸性成分 :pH值冲击大,一般而言在2-11中间。 除理技艺具体流程 造成废污水优点,应用“预办理+什么是生化+深层次办理”团体工艺技术: 自动调节池 :稳定水的硬度排水量,生成强酸强碱自动调节pH至碱式盐。 混疑沉积 :加药PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),清掉悬屏物和悬浊液,沉降后SS清掉率>90%。 促使被氧化 :选择Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)分解巧妙增长剂,COD洗去率达60%。 生物体处里 :MBR膜生物工程作用器进几步可降解剩下无机物,COD减少为100mg/L以下的。 阴阳离子对调 :使用硅胶粘合剂吸附剂铜阴离子,出液铜分量<0.5mg/L。 砂滤+化学活化炭吸附 :以保证水流澄澈,达到了《污废水基础性污染物规范》(GB8978-1996)考试内容一级规范。 终究治疗效果 系統运转稳定性高后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 中水回用率达40%,剩于及格摆放,年以减少生活污水摆放1.10万吨。 治理直接费用约15元/吨,远不超过行业领域平均水平。

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